[发明专利]磁性元件、使用其的涡电流式传感器、研磨装置、研磨方法以及计算机可读取记录介质有效
| 申请号： | 201811599497.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN110030918B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 高桥太郎;涩江宏明;渡边和英 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;B24B37/013;B24B49/10 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种使形成于被研磨物的磁场更强的磁性元件以及使用该磁性元件的涡电流式传感器。涡电流式传感器具有：作为磁性体的底面部、设于底面部的中央的磁心部、设于底面部的周边部的周壁部。涡电流式传感器另外还具有配置在磁心部的外周，能够产生磁场的励磁线圈；配置于周壁部的外周，能够产生磁场的励磁线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 元件 使用 电流 传感器 研磨 装置 方法 以及 计算机 读取 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种磁性元件，其特征在于，具有：底部磁性体；中央磁性体，该中央磁性体设于所述底部磁性体的中央；周边部磁性体，该周边部磁性体设于所述底部磁性体的周边部；能够产生磁场的内部线圈，该内部线圈配置在所述中央磁性体的外周；以及能够产生磁场的外部线圈，该外部线圈配置在所述周边部磁性体的外周。
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