[发明专利]一种全自动气动封装台有效
申请号: | 201811534986.5 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN109637941B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 周焱文 | 申请(专利权)人: | 武汉普迪真空科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及封装技术领域,尤其是一种全自动气动封装台,包括底座,底座的底部设有支脚,底座的顶部设有侧板,侧板上设有第一支撑板和第二支撑板,第一支撑板与第二支撑板之间设有双杆气缸,双杆气缸上设有高精度微调气压阀,高精度微调气压阀上设有第一调节螺母和第二调节螺母,双杆气缸的输出端设有第一伸缩杆,第一伸缩杆的一端设有回形压头,第一伸缩杆的一侧设有第二伸缩杆,回形压头的下方设有工作箱,工作箱的顶部设有回形凹台,回形凹台的底部设有加热片,加热片上设有温度传感器,加热片的底部设有球面平台,球面平台的底部设有如若干安装柱。本发明实现温度、压力自动化,大大提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 气动 封装 | ||
【主权项】:
1.一种全自动气动封装台,包括底座(10),所述底座(10)的底部设有若干支脚(101),所述支脚(101)均与底座(10)固定连接,所述底座(10)顶部的一侧设有侧板(4),所述侧板(4)的底端与底座(10)固定连接,所述侧板(4)的顶端设有第一支撑板(11),所述第一支撑板(11)与侧板(4)固定连接,其特征在于,所述第一支撑板(11)的下方平行设有第二支撑板(12),所述第二支撑板(12)与侧板(4)固定连接,所述第一支撑板(11)与第二支撑板(12)之间设有双杆气缸(2),所述双杆气缸(2)的两端分别与第一支撑板(11)、第二支撑板固定连接,所述双杆气缸(2)的进气端设有高精度微调气压阀(1),所述高精度微调气压阀(1)与双杆气缸(2)固定连接,所述高精度微调气压阀(1)上设有第一调节螺母(14)和第二调节螺母(15),所述第一调节螺母(14)和第二调节螺母(15)均与高精度微调气压阀(1)螺纹连接,所述双杆气缸(2)的输出端设有第一伸缩杆(21),所述第一伸缩杆(21)卡接在双杆气缸(2)内且与双杆气缸(2)滑动连接,所述第一伸缩杆(21)远离双杆气缸(2)的一端设有回形压头(5),所述回形压头(5)与第一伸缩杆(21固定连接,所述第一伸缩杆(21的一侧设有第二伸缩杆(22),所述第二伸缩杆(22)卡接在双杆气缸(2)内且与双杆气缸(2)滑动连接,所述第二伸缩杆(22)远离双杆气缸(2)的一端与回形压头(5)固定连接,所述回形压头(5)的下方上设有工作箱(13),所述工作箱(13)固定连接在底座(10)上,所述工作箱(13)的顶部设有与回形压头(5)相匹配的回形凹台(6),所述回形凹台(6)固定连接在工作箱(13)上,回形凹台(6)的底部设有加热片(7),所述加热片(7)与回形凹台(6)固定连接,所述加热片(7)上设有温度传感器(71),所述温度传感器(71)固定连接在工作箱(13)内,所述加热片(7)的底部设有球面平台(8),所述球面平台(8)与加热片(7)固定连接,所述球面平台(8)的底部设有如若干安装柱(9),所述安装柱(9)的顶端均与球面平台(8)固定连接,所述安装柱(9)的底端均与工作箱(13)的底面固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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