[发明专利]一种多层结构的类金刚石膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201811516132.4 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111304591A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;刘晓阳;张钦辉;张海峰 | 申请（专利权）人： | 北京首量科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101102 北京市通州区中关村*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层结构的类金刚石膜，包括基层、N个软类金刚石亚层，M个硬类金刚石亚层，其中，所述M等于所述N为自然数，且一一对应，所述基层设置在最下端，所述硬类金刚石亚层设置在基层的上表面，所述软类金刚石亚层设置在硬类金刚石亚层的上表面，所述软类金刚石亚层和硬类金刚石亚层交替叠加的方式设置。相对于现有技术，该类金刚石膜当基体脉冲直流偏压占空比较高(如40％)时，类金刚石膜和内应力会得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 结构 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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