[发明专利]一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法。本发明的MEMS电磁能量疏导器件包括绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线、薄膜吸收层、多对电磁能量疏导引脚和封装壳体；本发明基于各类型弹药的引信系统，结合微机电系统工艺制备了电磁能量疏导器件，解决了传统引信电磁防护受到尺寸限制的问题，并通过电磁驱动，实现机构通断，完成电磁能量的疏导，提高了引信系统乃至整个弹药的安全性能。

主权项

1.一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件，其特征在于，所述MEMS电磁能量疏导器件包括：绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线、薄膜吸收层、多对电磁能量疏导引脚和封装壳体；其中，在绝缘衬底的中心设置电磁能量疏导质量块，所述电磁能量疏导质量块采用分级式堆叠结构，包括上下两层的质量块上层机构和质量块下层机构，分别为两个同心的圆柱，质量块下层机构的直径小于质量块上层机构的直径，直径差范围为50～100μm；在电磁能量疏导质量块的周围设置多个呈中心对称的环形驱动电极，各个环形驱动电极之间有空隙不连通，每一个环形驱动电极为圆环的一部分，所述多个环形驱动电极位于与电磁能量疏导质量块同心的圆环上，每一个环形驱动电极采用分级式堆叠结构，包括上下两层的电极上层机构和电极下层机构，分别为两个同心的圆环的一部分，电极下层机构的宽度小于电极上层机构的宽度，宽度差范围为5～15μm；在电磁能量疏导质量块的质量块上层机构和多个环形驱动电极的电极上层机构的表面覆盖电磁能量吸收层，所述电磁能量吸收层采用对电磁能量具有吸收能力的材料；与多个环形驱动电极相对应，在绝缘衬底上设置多对电磁能量疏导导线，每一对电磁能量疏导导线的一端分别连接电磁能量疏导质量块和一个环形驱动电极，另一端分别连接电磁能量疏导引脚；在电磁能量疏导导线的表面覆盖一层薄膜吸收层，薄膜吸收层采用对电磁能量具有吸收能力的材料；所述绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线和薄膜吸收层封装在内部中空的圆柱形的封装壳体内；所述电磁能量疏导引脚位于封装壳体外，电磁能量疏导质量块和一个环形驱动电极分别经由一对电磁能量疏导导线通过一对电磁能量疏导引脚并联在引信系统的两端；当引信系统所处的环境中有外界瞬态强电磁干扰时，在封装壳体内封闭的小空间会产生瞬态的高温和强电耦合环境，环形驱动电极与电磁能量疏导质量块之间存在大的电势差，在大电势差的作用下二者发生吸合现象，由于电磁能量疏导质量块和环形驱动电极均采用分级式堆叠结构，下层结构的尺寸小于上层结构的尺寸，重心偏高，导致发生相对位移互相靠近，使得电磁能量疏导质量块与环形驱动电极碰合，引信系统形成短路，从而实现电磁能量吸收。