[发明专利]集尘装置以及集尘方法有效
| 申请号： | 201811299642.0 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109752929B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 高桥洋介;安部勇仁;明野公信 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 庞乃媛 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及集尘装置以及集尘方法。实施方式的集尘装置具备在第1面配置有第1电极的背面的主体、对上述第1电极、以及上述主体的装拆进行控制的固定部、向上述第1电极传送电压的第2电极、以及对向上述第2电极施加的电压的大小及定时进行控制的控制基板。 | ||
| 搜索关键词： | 集尘 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集尘装置，其特征在于，具备：主体，在第1面配置有第1电极的背面；固定部，对上述第1电极、以及上述主体的装拆进行控制；第2电极，向上述第1电极传送电压；以及控制基板，对施加于上述第2电极的电压的大小以及定时进行控制。
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