[发明专利]一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置

摘要

本发明公开了一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置，包括装置本体和支撑柱，支撑柱固定连接装置本体，装置本体内设有上气浮板、下气浮板、激光聚焦头和清洁箱，装置本体开设有出料口和进料口，上气浮板上端面固定连接螺纹杆一，螺纹杆一螺纹连接旋转柱，旋转柱转动连接装置本体内壁，旋转柱上固定安装锥齿轮二，锥齿轮二通过锥齿轮啮合传动连接传动杆一，传动杆一上固定安装锥齿轮一，锥齿轮一啮合转轴二上固定安装的锥齿轮七，转轴二固定连接把手二，装置本体内顶部均匀安装吸头，吸头通过抽风机连接收集箱。本发明通过锥齿轮啮合传动进行驱动上气浮板上下移动，快速对材料基板进行激光聚焦，将激光刻划产生的粉尘等收集在收集箱内进行处理。

主权项

1.一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置，包括装置本体（1）和支撑柱（11），所述支撑柱（11）固定连接装置本体（1），所述装置本体（1）内底部固定安装下气浮板（10），下气浮板（10）从左到右依次设有三个，左侧的两个下气浮板（10）之间设有能够产生激光聚焦光束的激光聚焦头，左侧的两个下气浮板（10）上侧对应设有上气浮板（15），其特征在于，所述装置本体（1）的左右端面开设有出料口（14）和进料口（9），所述上气浮板（15）上端面固定连接螺纹杆一（17），所述螺纹杆一（17）螺纹连接旋转柱（18），所述旋转柱（18）通过轴承一转动连接装置本体（1）内壁，旋转柱（18）上固定安装锥齿轮二（19），所述锥齿轮二（19）啮合连接锥齿轮三（20），所述锥齿轮三（20）对称设置，对称设置的锥齿轮三（20）分别固定安装在转轴（21）的左右端面，所述转轴（21）通过轴承转动连接固定板（22），且贯穿固定板（22），所述固定板（22）固定连接装置本体（1）顶部，所述转轴（21）上固定安装锥齿轮五（24），所述锥齿轮五（24）啮合连接锥齿轮四（23），所述锥齿轮四（23）固定安装在传动杆二（44）上，所述传动杆二（44）通过轴承转动连接固定板一，且贯穿固定板一，固定板一固定连接装置本体（1），所述锥齿轮四（23）啮合连接锥齿轮一（12），所述锥齿轮一（12）固定安装在传动杆一（13）上，传动杆一（13）通过固定板二固定连接装置本体（1），固定板二的连接方式同固定板一，锥齿轮一（12）啮合连接锥齿轮七，所述锥齿轮七固定连接转轴二，所述转轴二通过轴承转动连接装置本体（1），所述转轴二固定连接把手二（45），所述转轴二上螺纹连接螺帽，所述装置本体（1）内顶部均匀固定安装吸头（25），所述吸头（25）通过回收管（26）连接抽风机（27）的输入端， 所述抽风机（27）的输出端通过回收管（26）连接收集箱（28）。