[发明专利]一种镀制非均匀多层薄膜的方法有效
| 申请号： | 201811240138.3 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109207949B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 鲍明东 | 申请（专利权）人： | 宁波工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315012 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种镀制非均匀多层薄膜的方法，包括如下步骤：S1.丙酮清洗试样(3)；S2.将试样(3)干燥；S3.将试样(3)放入试样台(4)上；S4.镀制第一薄膜层(301)：工控系统驱动光圈(5)的孔径由零开始以速度V1增大；S5.镀制第二薄膜层(302)：工控系统驱动遮挡装置(6)由半径为最小状态开始以速度V2增大，S6.镀制第三薄膜层(303)：工控系统驱动光圈(5)的孔径由零开始以速度V3增大，S7.镀膜完成，关闭非均匀多层薄膜的镀膜设备。采用这种结构后，该方法可以镀制非均匀多层薄膜，为科研人员对非均匀多层薄膜的研究工作做铺垫。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀制非 均匀 多层 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镀制非均匀多层薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.将试样(3)放入超声波清洗机中，用丙酮清洗试样(3)；S2.将试样(3)放入真空干燥箱中干燥；S3.将试样(3)放入用于镀制非均匀多层薄膜的系统的试样台(3)上；S4.镀制第一薄膜层(301)：开启镀制第一薄膜层(301)的靶材，设定镀制第一薄膜层(301)的时间为T1，第一驱动机构驱动光圈(5)至试样(3)表面中心上方并固定，所述试样(3)的直径为D，工控系统驱动光圈(5)的孔径由零开始以速度V1增大，其中V1＝D/T1，之后第一驱动机构驱动光圈(5)远离试样(3)表面，工控系统驱动光圈(5)使光圈(5)的孔径复位至零；S5.镀制第二薄膜层(302)：切换至镀制第二薄膜层(302)的靶材，并且第二驱动机构驱动遮挡装置(6)至试样(3)表面中心上方，并且使空心管13与试样(3)表面中心对齐并固定，设定镀制第二薄膜层(302)的时间为T2，遮挡装置(6)的半径为最小状态，工控系统驱动遮挡装置(6)由半径为最小状态开始以速度V2增大，其中V2＝D/T2，之后第二驱动机构驱动遮挡装置(6)远离试样(3)表面；S6.镀制第三薄膜层(303)：切换至镀制第三薄膜层(303)的靶材，第一驱动机构驱动光圈(5)至试样(3)表面中心上方并固定，设定镀制第三薄膜层(303)的时间为T3，工控系统驱动光圈(5)的孔径由零开始以速度V3增大，其中V3＝D/T3，之后第一驱动机构驱动光圈(5)远离试样(3)表面；S7.镀膜完成，关闭非均匀多层薄膜的镀膜设备。
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