[发明专利]一种基板夹持承载台

摘要

本发明属于半导体行业基板湿法处理领域，具体的说是一种基板夹持承载台，包括电机、承载台、升降CUP及固定CUP，电机的输出端与承载台相连，电机外围设有固定CUP，固定CUP的外围设有可升降的升降CUP；承载台上沿圆周方向分别安装有随承载台转动的转动pin及固定pin，转动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，固定pin的柱体固接在承载台上，转动pin的柱体转动安装在承载台上，转动pin和固定pin的夹持块均偏心设置在柱体顶部，转动pin的底部安装有转动磁石；固定CUP内设有内磁石，升降CUP内设有外磁石，内磁石与外磁石分别位于转动磁石的内外两侧。本发明对基板正面与背面无磨损、污染，能够带动基板旋转，完成基板工艺处理。