[发明专利]镀覆装置以及镀覆方法有效
| 申请号： | 201811183566.7 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN109652851B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张绍华;平尾智则 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D21/10 | 分类号： | C25D21/10;C25D21/12;C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种对基板进行镀覆的镀覆装置，降低由叶片的动作产生的镀覆液的液面的摆动。该镀覆装置具有：镀覆槽，该镀覆槽构成为收容镀覆液；叶片，该叶片配置于所述镀覆槽内，且构成为对所述镀覆液进行搅拌；以及液面摆动降低部件，该液面摆动降低部件配置于所述镀覆槽内，且具有供所述镀覆液通过的流路，该液面摆动降低部件使通过所述流路的所述镀覆液的流速上升而使所述镀覆液所形成的波的能量衰减。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镀覆装置，对基板进行镀覆，所述镀覆装置的特征在于，具有：镀覆槽，该镀覆槽构成为收容镀覆液；叶片，该叶片配置于所述镀覆槽内，并构成为对所述镀覆液进行搅拌；以及液面摆动降低部件，该液面摆动降低部件配置于所述镀覆槽内，且具有供所述镀覆液通过的流路，该液面摆动降低部件构成为使通过所述流路的所述镀覆液的流速上升而使所述镀覆液所形成的波的能量衰减。
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