[发明专利]一种条形霍尔离子源有效
| 申请号： | 201811133963.3 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109166780B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;赵刚;陈蓓丽 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吴伟文 |
| 地址： | 528437 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种条形霍尔离子源，包括条形的壳体，设置在所述壳体一端的中空阴极，中空阴极的阴极口位于壳体上端开口的上方；设置在所述壳体内的与所述中空阴极相对应的阳极，阳极上方设置有与壳体上端开口对应的阳极口；设置阳极下端的冷却机构和工艺气输气机构；以及设置在壳体内并位于冷却底板下端的多个磁铁。本发明结构简单，设计合理，通过使用中空阴极管实现无灯丝结构，进一步提高了阴极的使用寿命，功率大大提高，另外，通过将离子源设置为条形，大大提高了覆盖面积，更加适合连续生产线的使用，并且通过设置多路工艺气体供气管道，以及通过准确各路的供气量，保证离子束的均匀分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 条形 霍尔 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种条形霍尔离子源，其特征在于，包括：上下两端均开设有开口的条形的中空的壳体；固定在所述壳体一端的中空阴极，所述中空阴极的阴极口位于壳体上端开口的上方；设置在所述壳体内的与所述中空阴极相对应的阳极，所述阳极上方设置有与壳体上端开口对应的阳极口；设置在壳体内并位于阳极下端的冷却机构和具有多路输入的工艺气输气机构；以及设置在壳体内并位于冷却机构和工艺气输气机构下端的多个磁铁。
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