[发明专利]靶材组件形成方法在审
申请号: | 201811114487.0 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN110937911A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;占卫君 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C04B37/02 | 分类号: | C04B37/02;B23K35/26 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 吴敏 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种靶材组件形成方法,包括:提供陶瓷靶材,所述陶瓷靶材具有靶材焊接面;提供金属背板,所述金属背板具有背板焊接面;将所述靶材焊接面镀镍,形成镍镀层;在所述镍镀层表面和所述背板焊接面上放置钎料,对所述陶瓷靶材以及所述金属背板进行焊接,形成靶材组件。本发明有助于提高所述陶瓷靶材与所述金属背板间的焊接强度。 | ||
搜索关键词: | 组件 形成 方法 | ||
【主权项】:
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