[发明专利]一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统在审
| 申请号： | 201811094451.0 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110926588A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 胡博文;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01H1/00 | 分类号： | G01H1/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：首先建立半导体设备振动元件的故障振动波形数据库，采集多个所述振动传感器的振动信号，再对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号，对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。本发明能够保障在半导体设备振动元件发生故障前启动报警功能，预先采取应变措施，防止突发性停机事故的发生，达到生产稳定化目标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 振动 元件 性能 监测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811094451.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能管路定位整合设备
- 下一篇：一种文档编辑方法、装置及终端设备
