[发明专利]一种Cr-Si-N-O太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明提供一种Cr‑Si‑N‑O太阳能选择性吸收涂层及其制备方法。所述涂层从底层到表面依次包括基片、红外反射层、吸收层和减反层，所述吸收层包括第一亚层、第二亚层和第三亚层，所述第一亚层与红外反射层接触，所述第三亚层与减反层接触；所述第一亚层、第二亚层的材料为CrSiN；所述第三亚层的材料为CrSiNO；所述第一亚层中，其CrSi的含量大于N的含量；所述的第二亚层中，其CrSi的含量小于等于N的含量。所述涂层能够提高太阳能选择性吸收涂层的热稳定性；所述的涂层经400℃大气环境或者500℃真空环境(3.0x10^‑3pa)退火2h处理之后，其吸收率均大于0.95，发射率均小于等于0.08(80℃)。

主权项

1.一种Cr‐Si‐N‐O太阳能选择性吸收涂层，所述的涂层从底层到表面依次包括基片、红外反射层、吸收层和减反层，所述的吸收层包括第一亚层、第二亚层和第三亚层，所述的第一亚层与红外反射层接触，所述的第三亚层与减反层接触，其特征在于：所述的第一亚层、第二亚层的材料为CrSiN；所述的第三亚层的材料为CrSiNO。