[发明专利]一种硅片高效制绒方法

摘要

本发明提供了一种硅片高效制绒方法，包括如下步骤：a）杂质清洗；b）有机物清洗；c）配置制绒液；d）硅片制绒；e）成品清洗。与现有技术相比，本发明的有益效果在于：通过擦洗可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜；采用浓碱液高温下对硅片进行快速腐蚀，损伤层存在时，腐蚀速率可达5μm/min，损伤层去除后，腐蚀速率约为1.2μm/min，使得硅片表面的脏污和颗粒可完全脱落进入熔液，保证了硅片的表面清洗效果；通过水解生成的原硅酸，以及IPA可对硅片表面的有机物进行去除；最后通过采用H₂O₂和KOH混合溶液，可清洗制绒后的硅片表面残留物，提高产品质量。

主权项

1.一种硅片高效制绒方法，其特征在于：包括如下步骤：a）杂质清洗：首先对硅片的表面进行擦洗，随后准备超声波清洗池，并在池内盛放NaQH溶液，接着将硅片放入超声波清洗池内，控制控制频率23000～26000Hz，温度65～70℃，清洗2～3min；b）有机物清洗：首先准备清洗池，并在清洗池内放入Na2SiO3和IPA，然后将步骤a）中的硅片放入清洗池内，控制温度62～66℃，清洗2～3min；c）配置制绒液：在氢氧化钠溶液中添加异丙醇，并备用；d）硅片制绒：首先将制绒液盛放在水槽内，并控制温度75～80℃，随后将步骤b）中的硅片放入水槽内，浸泡20～22min取出；e）成品清洗：用浓度1.2～2%的H2O2和浓度0.5～0.6%的KOH混合溶液对步骤d）处理后的硅片进行清洗，最后干燥，得到制绒好的硅片。