[发明专利]一种双面氧化铝结构的PERC双面电池及其制备方法

摘要

本发明涉及一种双面氧化铝结构的PERC双面电池及其制备方法,包括硅片,硅片正面依次形成的二氧化硅层、正面氧化铝膜和减反膜；硅片背面依次形成有背面二氧化硅层、背面氧化铝膜、钝化膜和背电极。本发明的制备方法为：清洗、制绒；磷扩散制备pn结；背面抛光、刻蚀、去PSG；退火氧化；双面镀氧化铝膜；正面减反膜沉积；背面钝化膜沉积；激光开槽；丝网印刷、烧结。本发明克服了目前传统方法由于先沉积SiNx再镀氧化铝层所带来的绕镀问题，并能提高电池的转化效率。

主权项

1.一种双面氧化铝结构的PERC双面电池，包括硅片和设于硅片正面的正电极，其特征在于：所述硅片正面依次设有正面二氧化硅层、正面氧化铝膜和减反膜；所述硅片的背面依次形成有背面二氧化硅层、背面氧化铝膜、钝化膜和背电极；所述正面二氧化硅层厚度大于3nm，而背面二氧化硅层厚度小于3nm。