[发明专利]曝光补偿表的生成方法、光阻曝光补偿的方法及曝光机台

摘要

本发明公开了一种曝光补偿表的生成方法、光阻曝光补偿的方法及曝光机台。所述曝光机台包括：曝光部件、与所述曝光部件控制连接的曝光补偿控制模块、及曝光补偿表，所述曝光补偿表包括：曝光后的目标光阻图案线宽值、曝光机台类型、光罩开口尺寸、及对应的曝光能量和曝光时间参数；所述的曝光补偿控制模块根据曝光后的目标光阻图案线宽值、曝光机台类型和现有光罩开口尺寸从曝光补偿表中读取对应的曝光能量和曝光时间参数进行曝光。本发明通过生成记录有预设的曝光参数和得到的光阻图案线宽值的曝光补偿表，而在曝光时查询曝光补偿表查询对应的曝光能量和曝光时间参数，使得适用不同曝光参数曝光后形成的光阻图案线宽一致更高，显示效果更好。

主权项

1.一种曝光补偿表的生成方法，其特征在于，包括以下步骤：A：按照预设的曝光参数，开始一次曝光显影测试，并将预设的曝光参数和得到的光阻图案线宽值记录至曝光补偿表中；所述曝光参数包括以下各参数的至少一个：曝光机台类型、光罩开口尺寸、光能量、曝光时间；B：按照曝光补偿表预设的曝光参数调整曝光机，重新执行步骤A，直至所有预设的曝光参数全部测试完毕。