[发明专利]一种改变六苯并蔻类盘状液晶分子取向的方法在审

专利信息
申请号: 201811048132.6 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN109061951A 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 张智;易子川;杨健君;刘黎明;迟锋;水玲玲 申请(专利权)人: 电子科技大学中山学院
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 528400 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种改变六苯并蔻类盘状液晶分子取向的方法,通过采用模板水热法制备垂直结构的、有序的ZnO纳米棒阵列,纳米棒间隔为80~150nm,将其作为六苯并蔻类盘状液晶分子的取向衬底,六苯并蔻类盘状液晶通过滴膜法沉积到ZnO纳米棒阵列衬底上,同时衬底加热到40℃以上,静置10min以上等待溶剂挥发,形成ZnO/六苯并蔻类盘状液晶复合薄膜,以此实现ZnO/六苯并蔻类盘状液晶复合膜层中盘状液晶分子取向呈现分子面朝上的垂直取向,无需外加电场或精确控制温度,取向方法简单,而且可以在短时间内形成质量较好的均一膜层,促进六苯并蔻类盘状有机分子在OLED、OPV电子器件方面的运用。
搜索关键词: 类盘 液晶分子取向 衬底 取向 液晶 液晶复合膜 衬底加热 垂直结构 垂直取向 电子器件 复合薄膜 溶剂挥发 水热法制 外加电场 液晶分子 有机分子 分子面 纳米棒 朝上 均一 膜层 膜法 沉积
【主权项】:
1.一种改变六苯并蔻类盘状液晶分子取向的方法,其特征在于步骤如下:(1)用氮化镓作为衬底,分别采用丙酮、异丙醇、去离子水对所述衬底进行超声清洗,每次清洗时间15min,然后用氮气清理所述衬底表面;(2)采用磁控溅射方法在所述衬底表面沉积ZnO薄膜,靶材为99.9%锌靶,衬底温度200℃,氧气流量2sccm,射频功率150W,溅射时间20min,即制得ZnO薄膜衬底;(3)将所述ZnO薄膜衬底放入马弗炉中,400℃高温退火25min,然后在所述ZnO薄膜上旋涂厚度为70nm的PMMA薄膜,放入真空干燥箱中150℃干燥20min;(4)采用电子束光刻系统对所述PMMA薄膜进行曝光,刻蚀图案为排列整齐的圆点,所述圆点的直径为30nm,所述圆点之间的间隔为80‑150nm,然后采用20%异丙醇和80%甲基异丁酮的混合溶剂进行显影1min;(5)将步骤(4)制得的衬底放入装有前驱体溶液的反应釜中,95℃反应生长1h,然后取出干燥,即制得垂直于所述衬底排列的ZnO纳米棒阵列膜层;(6)将六苯并蔻类盘状液晶溶于浓度为0.5w%的氯仿溶液中,然后将所述氯仿溶液滴到ZnO纳米棒阵列膜层上,同时所述衬底加热到40℃静置15min。
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