[发明专利]一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS双端固支梁结构力学分析方法有效
| 申请号： | 201811029805.3 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109271692B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;于洋;吴虹剑;田蕾;吝晓楠;刘星 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F30/13 | 分类号： | G06F30/13;G06F30/20;G06F119/14 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS双端固支梁结构力学分析方法，主要包括两个步骤：其一是建立基于MEMS双端固支梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型，实现MEMS双端固支梁结构与柔性基板之间关键结构参数变化量的提取。其二是基于MEMS双端固支梁结构弯曲特性模型，获得MEMS双端固支梁结构/基板双变形的形变量及MEMS双端固支梁结构内应力引入量。本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含MEMS双端固支梁结构与柔性基板双变形模型，考虑MEMS双端固支梁结构双轴残余应力影响的MEMS双端固支梁结构力学分析方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 弯曲 条件下 mems 双端固支梁 结构 力学 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS双端固支梁结构力学分析方法，其特征在于：包括以下步骤：建立基于RF MEMS双端固支梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型；基于所述形变耦合模型：所述柔性基板弯曲变形后，获取所述RF MEMS双端固支梁结构膜桥至所述柔性基板的间距以及内应力引入量；基于所述获取的间距及内应力引入量，重建RF MEMS双端固支梁结构的力学特性模型；基于所述重建的RF MEMS双端固支梁结构的力学特性模型，获取柔性基板弯曲对RF MEMS双端固支梁结构力学特性的影响。
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