[发明专利]气体流量监测系统及监测和主备用切换方法在审
| 申请号： | 201810984779.3 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109085812A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 冯文杰 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/00 | 分类号： | G05B23/00;G05D7/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体流量监测系统及采用所述气体流量监测系统的监测方法和主备用切换方法，所述气体流量监测系统包括：至少一主用管路和一备用管路，所述主用管路和备用管路的一端分别连接至一外部气体供应系统，所述主用管路和备用管路的另一端分别连接至制程腔体；在所述主用管路上安装一主用质量流量控制器、至少一主用气动开关阀和主用开关阀，在所述备用管路上安装一备用质量流量控制器和至少一备用气动开关阀，在所述备用管路和每一所述主用管路之间安装一备用开关阀。 | ||
| 搜索关键词： | 主用 备用管路 监测系统 气体流量 质量流量控制器 气动开关阀 主备用切换 备用 备用开关 供应系统 外部气体 制程腔体 备用管 开关阀 监测 | ||
【主权项】：
1.一种气体流量监测系统，其特征在于，所述监测系统包括：至少一主用管路和一备用管路，所述主用管路和备用管路的一端分别连接至一外部气体供应系统，所述主用管路和备用管路的另一端分别连接至制程腔体；在所述主用管路上安装一主用质量流量控制器、至少一主用气动开关阀和主用开关阀，在所述备用管路上安装一备用质量流量控制器和至少一备用气动开关阀，在所述备用管路和每一所述主用管路之间安装一备用开关阀。
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