[发明专利]一种超高真空红外光谱原位分析系统在审
| 申请号： | 201810974831.7 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN110857912A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 严洁;刘建;高平;孙晓军;刘维民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3563 | 分类号： | G01N21/3563 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 周瑞华 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空红外光谱原位分析系统，包括红外光谱仪，该系统还包括与超高真空样品室相连的样品控制装置和超高真空获得装置；超高真空样品室两侧设有超高真空KBr红外窗口；超高真空获得装置包括无油机械泵、涡轮分子泵和溅射离子泵；样品控制装置由微分头通过轴、杆控制其下方的样品架，并与超高真空样品室采用金属封接，通过波纹管进行力及运动的传递。本发明实现了模拟空间环境下材料表面的红外光谱原位分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 红外 光谱 原位 分析 系统 | ||
【主权项】：
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