[发明专利]一种纳米压印方法在审
| 申请号： | 201810947123.4 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN108957949A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李凡月;肖艳芬 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710018 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供纳米压印方法，包括如下步骤：(1)提供一压印模板，压印模板固定于一承载组件上；(2)在真空环境中，将可固化的压印胶均匀涂覆在压印模板朝上放置的压印面上，保持真空一段时间后取出压印模板；(3)提供一基板，基板通过真空吸附固定在卡盘上；(4)承载组件翻转压印模板，使步骤(2)中涂覆有压印胶的压印面朝下与基板相对设置；(5)相对移动压印模板与基板，使涂覆有压印胶的压印面与基板表面接触，进行对准压印过程；(6)对准压印后的压印胶进行固化处理；(7)执行脱模操作，压印模板与固化的压印胶分离。使用该方法可降低气泡缺陷率，同时确保基板表面平整，保证了成型制品的高精度。 | ||
| 搜索关键词： | 压印模板 压印胶 基板 承载组件 基板表面 纳米压印 压印面 涂覆 压印 印胶 有压 对准 基板相对设置 真空吸附固定 朝上放置 成型制品 固化处理 均匀涂覆 气泡缺陷 相对移动 压印过程 真空环境 可固化 翻转 固化 卡盘 脱模 平整 取出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印方法，包括如下步骤：(1)提供一压印模板，压印模板固定于一承载组件上，该承载组件能够翻转压印模板，使压印模板的压印面朝上放置；(2)在真空环境中，将可固化的压印胶均匀涂覆在压印模板朝上放置的压印面上，保持真空一段时间后取出压印模板；(3)提供一基板，基板通过真空吸附固定在卡盘上；(4)承载组件翻转压印模板，使步骤(2)中涂覆有压印胶的压印面朝下与基板相对设置；(5)相对移动压印模板与基板，使涂覆有压印胶的压印面与基板表面接触，进行对准压印过程；(6)对准压印后的压印胶进行固化处理，使压印面结构转移至结合在基板表面的固化的压印胶上；(7)执行脱模操作，压印模板与固化的压印胶分离。
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