[发明专利]一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用在审
| 申请号： | 201810946985.5 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN108981898A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘铎;高乃坤;罗雯耀 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01H13/00 | 分类号： | G01H13/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用，包括步骤如下：(1)通过调制激光照射微悬臂梁表面，激励其振动；(2)通过连续激光照射微悬臂梁表面，在微悬臂梁表面产生热效应，通过控制连续激光的功率调谐其共振频率；(3)采集、处理微悬臂梁的振动信号。本发明可实现微悬臂梁共振频率的连续调谐，相对于微悬臂梁阵列实现频率带宽的增加，本发明拓展了其应用带宽，且微悬臂梁的共振阶次越高，其频率调谐范围越大。本发明可作为一种检测振动频率的探测器使用。由于微悬臂梁可以通过与具有一定频率的外界物理量的相互作用，使物理量的能量转换为梁的动能，从而根据梁的振动频率来实现对物理量频率的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 共振频率 物理量 调谐 光热效应 连续激光 振动频率 能量转换 照射 热效应 应用 调制激光 功率调谐 连续调谐 频率带宽 频率调谐 振动信号 阵列实现 种检测 动能 共振 探测器 带宽 采集 检测 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法，其特征在于，包括步骤如下：(1)通过调制激光照射微悬臂梁表面，激励其振动；(2)通过连续激光照射微悬臂梁表面，在微悬臂梁表面产生热效应，通过控制连续激光的功率调谐其共振频率；(3)采集、处理微悬臂梁的振动信号。
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