[发明专利]一种溅镀机及其溅镀工艺在审
| 申请号： | 201810909132.4 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN110819947A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 林行;葛健国;吕育仁;范小荣;朱育民;庄胜智 | 申请（专利权）人： | 无锡变格新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/52 |
| 代理公司： | 无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323 | 代理人： | 张迎召 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种溅镀机及其溅镀工艺，它涉及溅镀设备及其溅镀工艺技术领域。它包含外壳、真空腔体、升降控制器、升降杆、真空溅镀室、移动块、溅镀枪、载台、固定板；壳体内部为真空腔体，升降控制器设置在壳体内部的上表面，升降控制器下表面设置有升降杆，升降杆的下端连接于真空溅镀室上表面；移动块设置在真空溅镀室的下表面，溅镀枪设置在移动块的下方；壳体内部底面设置有固定的载台，载台上表面设置固定板。采用上述技术方案后，本发明有益效果为：它的结构简单，具有较高的溅镀性能，需要进行内部检查与维修时不需要将整体进行拆卸，省时省力，避免设备组件安装松动，且溅镀机构可灵活移动，提高溅镀的均匀程度和溅镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅镀机 及其 工艺 | ||
【主权项】：
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