[发明专利]渗硅工装有效
| 申请号： | 201810879575.3 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109176832B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘军;孙伟华 | 申请（专利权）人： | 深圳勒迈科技有限公司 |
| 主分类号： | B28B1/54 | 分类号： | B28B1/54;B28B11/00;B28B17/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 齐则琳;张雷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种渗硅工装，用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产，所述渗硅工装包括容器主体、支撑件和容器盖体，所述容器主体上设有凹腔；所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件，且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构；所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。本发明实施例通过在容器主体上开设凹腔，且在凹腔内放置具有用于容置硅粉的容置结构的支撑件，使得将碳制工件放于支撑件上，再盖上容器盖体，即可进行渗硅工艺，支撑件与碳制工件紧抵，实现良好的渗硅效果，支撑件的支撑功能与容置功能合二为一，且反应后无残余硅渣粘结，方便清理，同时能渗硅均匀减少偏重。 | ||
| 搜索关键词： | 工装 | ||
【主权项】：
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