[发明专利]磨削装置在审
| 申请号： | 201810788553.6 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109277938A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 青木昌史 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B47/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供磨削装置，以适当的加工条件实施磨削加工。该磨削装置具有：卡盘工作台；磨削单元，其具有主轴和安装在主轴的下方并且随着主轴的旋转而旋转的磨削磨具，利用该磨削磨具对卡盘工作台所保持的被加工物进行磨削；磨削进给单元，其将磨削单元朝向保持面进行磨削进给；声发射传感器，其安装于磨削单元或磨削进给单元；以及控制单元，其在被加工物的磨削时使卡盘工作台和磨削磨具旋转，通过磨削进给单元将磨削单元进行磨削进给而使磨削磨具与被加工物接触，该控制单元根据因磨削产生并且由声发射传感器检测的弹性波对卡盘工作台的旋转速度、磨削磨具的旋转速度、或磨削进给单元将磨削单元进行磨削进给的速度进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 磨削 磨削磨具 进给单元 被加工物 磨削装置 进给 声发射传感器 卡盘工作台 对卡盘 工作台 加工条件 磨削加工 弹性波 检测 | ||
【主权项】：
1.一种磨削装置，其对被加工物进行磨削，其特征在于，该磨削装置具有：卡盘工作台，其在上表面具有保持面，在该保持面上对所述被加工物进行保持，该卡盘工作台绕沿着垂直于该保持面的方向的轴而旋转；磨削单元，其具有主轴和磨削磨具，该磨削磨具安装在该主轴的下方并且随着该主轴的旋转而旋转，该磨削单元利用该磨削磨具对该卡盘工作台所保持的被加工物进行磨削；磨削进给单元，其将该磨削单元朝向该保持面进行磨削进给；声发射传感器，其安装于该磨削单元或该磨削进给单元；以及控制单元，其对该磨削进给单元、该卡盘工作台以及该声发射传感器进行控制，该控制单元在该卡盘工作台所保持的该被加工物的磨削时使该卡盘工作台和该主轴旋转，通过该磨削进给单元将该磨削单元进行磨削进给从而使该磨削磨具与该被加工物接触，该控制单元根据因该磨削而产生并且由该声发射传感器检测的弹性波对该卡盘工作台的旋转速度、该磨削磨具的旋转速度、或该磨削进给单元将该磨削单元进行磨削进给的速度进行控制。
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