[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201810735696.0 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108950484B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;施展 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，用于对基板进行蒸镀。该蒸镀装置包括至少一个距离传感器、调节件、承载板以及触摸板；所述承载板，用于承载基板；触摸板，设置在基板上，触摸板与承载板相对间隔设置；至少一个距离传感器，用于测量承载板的水平度，得到第一水平度，至少一个距离传感器用于测量触摸板的水平度，得到第二水平度；调节件，用于根据第一水平度和第二水平度，调节承载板和/或触摸板的水平度，使承载板和触摸板之间的相对水平度处于预设相对水平度范围。该方案通过设置调节件，调节承载板和触摸板之间的相对水平度，使相对水平度处于预设相对水平度范围，可以提高有机电致发光器件的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，用于对基板进行蒸镀，其特征在于，包括至少一个距离传感器、调节件、承载板以及触摸板；所述承载板，用于承载所述基板；所述触摸板，设置在所述基板上，所述触摸板与所述承载板相对间隔设置；所述至少一个距离传感器，用于测量所述承载板的水平度，得到第一水平度，所述至少一个距离传感器用于测量所述触摸板的水平度，得到第二水平度；所述调节件，用于根据所述第一水平度和所述第二水平度，调节所述承载板和/或所述触摸板的水平度，使所述承载板和所述触摸板之间的相对水平度处于预设相对水平度范围。
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