[发明专利]一种低成本方硅芯切割工艺

摘要

本发明涉及一种低成本方硅芯切割工艺，所述工艺包括以下步骤：步骤一、取一圆柱状或长方体状的硅锭；步骤二、在硅锭一端通过胶水粘上晶座；步骤三、将硅锭通过晶座悬挂至多线切割机床上；所述切割机床包括导轮组件和绕线轮，四组导轮组件和四个绕线轮相互交叉绕线形成方形线网；步骤四、方形线网前端进线速度为260m/min，后端收线速度为255m/min，多线切割机床的方形线网逐渐向上切割，直至完成整根硅锭的切割。本发明一种低成本方硅芯切割工艺，它通过优化导轮组件和绕线轮的结构，一方面使得导轮组件和绕线轮维修更换方便，另一方面有利于优化进线速度和出线速度，大大减少了金刚石切割线的消耗，降低了生产成本。

主权项

1.一种低成本方硅芯切割工艺，其特征在于所述工艺包括以下步骤：步骤一、取一圆柱状或长方体状的硅锭；步骤二、在硅锭一端通过胶水粘上晶座；步骤三、将硅锭通过晶座悬挂至多线切割机床上；所述切割机床包括导轮组件，所述导轮组件包括水平安装板，所述水平安装板后侧沿竖直方向设置有固定架，所述固定架上自上而下平行设置有多个横梁，所述横梁前侧自左至右间隔设置有多个卡槽，所述卡槽内设置有悬臂架，所述悬臂架上设置有导向轮；所述悬臂架包括固定块，所述固定块卡置于卡槽内，所述固定块通过连接螺栓与横梁相连接；所述固定块上设置有支撑悬臂，所述支撑悬臂向前倾斜布置，所述导向轮设置于支撑悬臂上；所述切割机床包括绕线轮，所述绕线轮包括绕线轮主体，所述绕线轮主体左右两侧设置有圆形端板，所述圆形端板外径大于绕线轮主体外径，左右两个圆形端板之间形成环形凹槽，所述环形凹槽内设置有聚氨酯套体，所述聚氨酯套体外表面均匀设置有绕线槽；所述聚氨酯套体外表面高度不超过圆形端板的外缘；所述聚氨酯套体通过注塑成型的方式包覆于绕线轮主体外表面；四组导轮组件和四个绕线轮相互交叉绕线形成方形线网；步骤四、方形线网前端进线速度为260m/min，后端收线速度为255m/min，多线切割机床的方形线网逐渐向上切割，直至完成整根硅锭的切割。