[发明专利]一种深紫外平面光波导有效
| 申请号： | 201810465384.2 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108427159B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 吴锜;姬兰亭;田亮;宋冉;孙远明;孙清泉;窦琳;佟瑶 | 申请（专利权）人： | 德州尧鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 白莹;于正河 |
| 地址： | 253000 山东省德州市经济技术开*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于光信号处理器件技术领域，涉及一种深紫外平面光波导，主体结构包括基底层、凸台、芯层、保护层和上包层，材质为二氧化硅的基底层能够减少热应力，掺杂硼和磷的芯层和上包层对深紫外波段光的吸收量少，同时能够提高光波导的折射率，材质为二氧化硅的保护层能够防止芯层与上包层的互溶，基底层、芯层、保护层和上包层构成横截面为矩形结构的掺杂硼和磷的石英异质波导可以应用在深紫外波段，对生物与化学传感、医疗卫生、食品安全、海洋探测等领域的发展有重要意义；其光波导的结构和制作方法工艺简单，既能提高折射率，又能降低深紫外光的传输损耗，能够作为各种光器件的制造原材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 平面 波导 | ||
【主权项】：
1.一种深紫外平面光波导，其特征在于主体结构包括基底层、凸台、芯层、保护层和上包层；长方体结构的基底层的上表面中心处沿纵向轴线设置有长方体结构的凸台，凸台的上表面设置有长方体结构的芯层，基底层的上表面未设置凸台的位置与芯层的上表面设置有保护层，保护层的上表面设置有上包层。
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