[发明专利]掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法有效
| 申请号： | 201810458187.8 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108642441B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 周丽芳;刘明星;王徐亮 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法，该掩膜板包括掩膜基板和遮挡层，掩膜基板上设置有蒸镀区，蒸镀区包括有效蒸镀区和无效蒸镀区，有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，无效蒸镀区至少与显示面板的开槽区对应，且有效蒸镀区和无效蒸镀区内均分布有多个蒸镀开口，遮挡层设置于掩膜基板表面并遮挡无效蒸镀区内的蒸镀开口。上述掩膜板用于蒸镀显示面板，其中对于掩膜基板而言，不仅使有效蒸镀区与异形屏的显示区对应，还通过无效蒸镀区补齐了有效蒸镀外的缺口，整个蒸镀区的边缘受力均匀，可以防止掩膜基板在张网时褶皱，进而防止最终成型的显示面板混色，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：掩膜基板，所述掩膜基板上设置有蒸镀区，所述蒸镀区包括有效蒸镀区和无效蒸镀区，所述有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，所述无效蒸镀区至少与所述显示面板的开槽区对应，所述有效蒸镀区和所述无效蒸镀区内均分布有多个蒸镀开口；遮挡层，所述遮挡层设置于所述掩膜基板表面，并遮挡所述无效蒸镀区。
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