[发明专利]一种单悬梁气体传感器、传感器阵列及传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种单悬梁气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、支撑膜、加热电阻、隔离膜和检测电极，该气体传感器呈“T”型，具有基体结构和悬臂结构，在悬臂结构的端部上设有气敏材料。本发明还提供了一种由单悬梁气体传感器组成的传感器阵列，并提供了该气体传感器的制备方法，其包括(1)选择硅衬底；(2)制备支撑膜；(3)制备加热电阻；(4)制备隔离膜；(5)制备检测电极；(6)释放薄膜；(7)气敏材料加载。本发明的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率。

主权项

1.一种单悬梁气体传感器，其特征在于，具有基体结构和悬梁结构，其包括依次层叠设置的如下部分：硅衬底；支撑膜，包括第一基部和第一悬臂，所述第一悬臂与第一基部的一侧连接；加热电阻，包括第二基部和第二悬臂，所述第二悬臂与第二基部的一侧连接；第二基部相对于第二悬臂的一侧开设有第一窗口，所述第二悬臂上设有沿第二悬臂长度方向延伸的第二窗口，所述第二窗口与第一窗口连通；第二基部位于第二窗口两侧的位置上分别设有第一引线；隔离膜，包括第三基部和第三悬臂，所述第三悬臂与第三基部的一侧连接；所述第三基部上对应于第一引线的位置设有透过孔，所述第一引线穿过相应透过孔暴露在外；所述隔离膜的厚度大于加热电阻的厚度；检测电极，包括第四基部和第四悬臂，所述第四悬臂与第四基部的一侧连接；第四基部背离第四悬臂的一侧设有第三窗口，第四悬臂上设有沿第四悬臂长度方向延伸，并将第四悬臂分割的第四窗口，所述第四窗口与第三窗口连通，并将检测电极分割为两部分；检测电极不覆盖所述透过孔；所述检测电极位于第三窗口两侧的位置上设有第二引线；所述硅衬底、第一基部、第二基部、第三基部和第四基部对应设置形成所述基体结构；所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂对应设置形成所述悬梁结构；所述第四悬臂远离基体结构的一端上设有气敏材料。