[发明专利]一种气敏传感器及其形成方法有效
| 申请号： | 201810432279.9 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108918599B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 陈达;罗海龙;叶菲 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张清芳 |
| 地址： | 315803 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种气敏传感器，包括：半导体衬底、位于所述半导体衬底上的绝缘层、位于所述绝缘层上的氧化锌，所述氧化锌作为气敏层，并且所述氧化锌的类型与半导体衬底不同。本发明制成氧化锌/绝缘层/半导体衬底结构的气敏传感器，结构更简单，其中氧化锌作为气敏层，可以用半导体工艺制作，从而气敏传感器的制作方法与半导体工艺兼容。进一步的，氧化锌包含两层，其中顶层的第二氧化锌膜中形成有阵列排布的凹槽，这样可以增加氧化锌气敏层的比表面积，从而可以提高气敏传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气敏传感器，其特征在于，包括：半导体衬底、位于所述半导体衬底上的绝缘层、位于所述绝缘层上的氧化锌，所述氧化锌作为气敏层，并且所述氧化锌的类型与半导体衬底不同。
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