[发明专利]集成电路制造工作程序相似性评估方法和系统有效
| 申请号： | 201810410023.8 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN109598398B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 马康恒;粘庆熙 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种集成电路制造工作程序相似性评估方法和系统的方法包含：针对工具日志变量集合中的第一工具日志变量，将来自第一集成电路制造工作程序的第一工具日志变量结果与来自第二集成电路制造工作程序的第一工具日志变量结果进行比较。所述工具日志变量集合对应于由在集成电路制造工具上执行所述第一集成电路制造工作程序和所述第二集成电路制造工作程序而生成的一个或多个工具日志。基于所述比较，针对所述第一工具日志变量分配第一工具日志变量相似性值，并且基于所述第一工具日志变量相似性值，计算针对所述第一集成电路制造工作程序和所述第二集成电路制造工作程序的工作程序相似性值。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 制造 工作 程序 相似性 评估 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路制造工作程序相似性评估的方法，包括：针对工具日志变量集合中的第一工具日志变量，将来自第一集成电路制造工作程序的第一工具日志变量结果与来自第二集成电路制造工作程序的第一工具日志变量结果进行比较，其中所述工具日志变量集合对应于由在集成电路制造工具上执行所述第一集成电路制造工作程序和所述第二集成电路制造工作程序而生成的一个或多个工具日志；基于所述比较，针对所述第一工具日志变量分配第一工具日志变量相似性值；以及基于所述第一工具日志变量相似性值，计算所述第一集成电路制造工作程序和所述第二集成电路制造工作程序的工作程序相似性值，其中所述将来自所述第一集成电路制造工作程序的所述第一工具日志变量结果与来自所述第二集成电路制造工作程序的所述第一工具日志变量结果进行比较、所述分配所述第一工具日志变量相似性值、或所述计算所述工作程序相似性值中的至少一个是通过处理装置执行的。
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
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