[发明专利]被加工物的加工方法

摘要

提供被加工物的加工方法，能够抑制器件的安装不良、断线等加工后的破损。该被加工物的加工方法包含如下的步骤：掩模准备步骤，准备将被加工物正面的器件覆盖并且使间隔道露出的掩模；等离子蚀刻步骤，在该等离子蚀刻步骤中反复进行如下过程：隔着掩模对背面配设有保持部件的被加工物提供等离子化的SF₆而形成槽，接着隔着掩模对被加工物提供等离子化的C₄F₈而使被膜堆积于被加工物，然后隔着掩模对被加工物提供等离子化的SF₆从而将槽底的被膜去除而对槽底进行蚀刻；以及异物去除步骤，在实施了等离子蚀刻步骤(ST3)之后，利用清洗液对被加工物进行清洗而将通过等离子蚀刻步骤(ST3)而生成的被膜去除。

主权项

1.一种被加工物的加工方法，该被加工物具有在由交叉的多条间隔道划分的各区域内分别形成有器件的正面，该器件具有突起电极，其中，该被加工物的加工方法具有如下的步骤：掩模准备步骤，准备将被加工物正面的该器件覆盖并且使该间隔道露出的掩模；等离子蚀刻步骤，在该等离子蚀刻步骤中反复进行如下过程：隔着该掩模对正面的该器件被该掩模覆盖并且在背面配设有保持部件的被加工物提供等离子化的SF6而形成槽，接着隔着该掩模对被加工物提供等离子化的C4F8而使被膜堆积于被加工物，然后隔着该掩模对被加工物提供等离子化的SF6从而将该槽底的该被膜去除而对该槽底进行蚀刻；以及异物去除步骤，在实施了该等离子蚀刻步骤之后，利用清洗液对被加工物进行清洗而将通过该等离子蚀刻步骤而生成的该被膜去除。