[发明专利]柔性压阻式微悬臂梁传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201810361327.X | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108592965A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 于晓梅;田源;王阳 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01D5/56 | 分类号： | G01D5/56 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性压阻式微悬臂梁传感器，所述柔性压阻式微悬臂梁由力敏电阻、柔性力敏电阻上保护层和力敏电阻下保护层组成。所述柔性压阻式微悬臂梁传感器至少配备有一组惠斯通电桥传感单元，所述惠斯通电桥传感单元由四个完全相同的力敏电阻和四个微悬臂梁构成，其中两个所述微悬臂梁表面淀积有金薄膜用作测量微悬臂梁，另外两个微悬臂梁作为参考微悬臂梁，所述四个微悬臂梁下设置有一微反应池。本发明由于采用柔性力敏电阻上保护层材料，避免了修饰和检测过程中微悬臂梁的断裂。由于采用p型单晶硅作为力敏电阻材料，保证了微悬臂梁传感器的灵敏度。本发明提出的柔性压阻式微悬臂梁传感器可实现对生物、化学分子的高灵敏和高特异性检测。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 压阻 悬臂梁传感器 力敏电阻 惠斯通电桥 传感单元 上保护层 柔性力 电阻 微悬臂梁传感器 特异性检测 表面淀积 化学分子 微反应池 下保护层 金薄膜 灵敏度 悬臂梁 修饰 断裂 灵敏 测量 参考 检测 配备 制作 保证 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压阻式微悬臂梁传感器，所述柔性压阻式微悬臂梁传感器至少配备有一组惠斯通电桥传感单元，所述惠斯通电桥传感单元由四个完全相同的力敏电阻和四个微悬臂梁构成，四个完全相同的力敏电阻分别位于四个微悬臂梁上，其中两个所述微悬臂梁用作测量微悬臂梁，测量微悬臂梁表面淀积有金薄膜，用于修饰生化敏感膜，另外两个微悬臂梁作为参考微悬臂梁，所述四个微悬臂梁下设置有一微反应池，所述微悬臂梁和微反应池均位于硅衬底上。所述柔性压阻式微悬臂梁传感器，其特征在于：所述微悬臂梁由力敏电阻、柔性力敏电阻上保护层和力敏电阻下保护层组成。
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