[发明专利]在线射频自动匹配器在审
| 申请号： | 201810304930.4 | 申请日： | 2018-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN108649923A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 杨帆;陈敏 | 申请（专利权）人： | 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H11/28 | 分类号： | H03H11/28 |
| 代理公司： | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 | 代理人： | 杨闯 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市新北区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端检测电路输入端连接，检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接，增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接，控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。本发明在线性放大器与相位/幅度信号之间各加入一个乘法器，运用正向功率信号对相位与幅度信号的增益进行自动调节，以实现马达驱动增益自动控制，提高射频自动匹配器的匹配速度。 | ||
| 搜索关键词： | 可调电容 自动匹配 驱动马达 输出端 增益自动控制电路 输入端连接 检测电路 控制电路 射频 幅度信号 射频电源 在线性放大器 正向功率信号 控制输入端 放电负载 马达驱动 射频信号 乘法器 匹配 输出 | ||
【主权项】：
1.在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，其特征在于，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端检测电路输入端连接，检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接，增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接，控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。
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