[发明专利]基板清洗装置

摘要

本发明要求保护基板清洗装置。基板清洗机(1)具有：对基板进行保持的基板保持装置(10)；第1清洗装置(11)，其具有第1清洗部件(11a)，使该第1清洗部件与由基板保持装置(10)保持的基板(W)的第1面(WA)接触而对该面进行清洗；第2清洗装置(12)，其具有第2清洗部件(12a)，使该第2清洗部件与基板(W)的第1面(WA)接触而对该面进行清洗；以及控制装置(50)，其将第1、2清洗装置(11、12)控制成，当第1清洗部件(11a)及第2清洗部件(12a)中的一方对由基板保持装置(10)保持的基板(W)的第1面(WA)进行清洗时，使另一方处于离开基板(W)的位置。采用本发明，能用清洁的清洗部件进行清洗并能提高处理量。

主权项

1.一种基板清洗装置，其特征在于，具有：基板保持部，该基板保持部对基板进行保持并使所述基板旋转；海绵清洗件，该海绵清洗件一边绕自身中心轴线旋转，一边与所述基板的表面接触；药液供给喷管，该药液供给喷管将药液供给到所述基板的表面上；以及药液供给机构，该药液供给机构将药液直接供给到所述海绵清洗件上。