[发明专利]气体保护装置及空气轴保护装置在审
| 申请号： | 201810198043.3 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108374839A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 张文斌;杨生荣;张盼;衣忠波;王仲康;白阳 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16N15/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 黄彩荣 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气体保护装置及空气轴保护装置，涉及半导体空气轴保护装置技术领域。该气体保护装置包括空气供气装置、保护气供气装置和保护阀，保护阀上设有空气进气口、保护气进气口和出气口，空气供气装置与空气进气口连通，保护气进气口与保护气供气装置连通，通过切换所述保护阀的连通状态，保护阀上的出气口与空气进气口或保护气进气口连通；该空气轴保护装置包括半导体设备和上述气体保护装置，气体保护装置的出气口与半导体设备中空气轴的空气腔连通。保护气供气装置为空气轴辅助供气，使得空气轴的空气隙内的气体气压保持稳定，确保空气轴的正常运转，从而确保空气轴转动精度，减少由于气压低导致空气轴抱死现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 空气轴 气体保护装置 保护装置 保护气进气口 连通 空气进气口 供气装置 保护气 出气口 空气供气装置 半导体设备 保护装置技术 连通状态 气体气压 空气腔 空气隙 抱死 气压 半导体 供气 转动 | ||
【主权项】：
1.一种气体保护装置，其特征在于，包括空气供气装置(1)、保护气供气装置(2)和保护阀(3)，所述保护阀(3)上设有空气进气口(31)、保护气进气口(32)和出气口(33)，所述空气供气装置(1)与所述空气进气口(31)连通，所述保护气进气口(32)与所述保护气供气装置(2)连通，通过切换所述保护阀(3)的连通状态，所述保护阀(3)上的出气口(33)与所述空气进气口(31)或所述保护气进气口(32)连通。
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