[发明专利]电磁感应式位移检测设备及使用该设备的测量仪器

摘要

提供了一种电磁感应式位移检测设备，在电磁感应式位移检测设备中，可以抑制接收装置所接收到的磁通量的变化的影响。一种电磁感应式位移检测设备包括：包括标尺线圈的标尺；以及相对于标尺相对地移动的头部。头部包括：在标尺线圈中产生磁通量的发送装置；以及包括第一接收单元和第二接收单元的接收装置，第一接收单元和第二接收单元各自接收磁通量的变化，并且在接收装置中，第一接收单元和第二接收单元布置为沿着测量方向彼此偏移。接收装置包括：一个端部部分和另一端部部分，在一个端部部分和另一端部部分中，使多个接收线圈的密度稀疏；以及设置在一个端部部分与另一端部部分之间的中心部分，并且在中心部分中，使多个接收线圈的密度密集。

主权项

1.一种电磁感应式位移检测设备，包括：包括标尺线圈的标尺；以及面向所述标尺并且在测量方向上沿着所述标尺相对地移动的头部，其中，所述头部包括：发送装置，其包括在所述标尺线圈中产生磁通量的发送线圈；以及接收装置，其包括第一接收单元和第二接收单元，所述第一接收单元和所述第二接收单元各自接收来自所述标尺线圈的磁通量的变化，并且在所述接收装置中，所述第一接收单元和所述第二接收单元布置为沿着所述测量方向彼此偏移，并且所述第一接收单元和所述第二接收单元包括：沿着列方向平行地布置的多个线圈线路，所述多个线圈线路包括沿着平行于所述测量方向的行方向布置的多个接收线圈，并且所述接收装置包括：在所述测量方向上分别设置在一个端侧和另一端侧的一个端部部分和另一端部部分，并且在所述一个端部部分和所述另一端部部分中，使所述多个接收线圈的密度稀疏；以及设置在所述一个端部部分与所述另一端部部分之间的中心部分，并且在所述中心部分中，使所述多个接收线圈的密度密集。