[发明专利]用于测量的光学装置及其测量方法有效

专利信息
申请号: 201810188477.5 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN110243573B 公开(公告)日: 2022-12-20
发明(设计)人: 黄健庭;李嘉樟 申请(专利权)人: 扬明光学股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种用于测量的光学装置,包括:入射面、第一反射面、第二反射面、第三反射面及第四反射面。入射面设于一光束的传递路径上,第一反射面设于光束的传递路径上,第二反射面、第三反射面及第四反射面设于光束的传递路径上。其中,光束的传递路径如下:(1)经由第一反射面到达待测量物体后,再反射穿透入射面后,并依序传递至第二反射面、第三反射面及第四反射面,到达一观测面;或(2)光束穿透入射面到达待测量物体后再反射至第一反射面,第一反射面反射光束,并依序传递至第二反射面、第三反射面及第四反射面后,到达观测面。
搜索关键词: 用于 测量 光学 装置 及其 测量方法
【主权项】:
1.一种用于测量的光学装置,其特征在于,包括:一入射面,设于一光束的传递路径上;一第一反射面,设于所述光束的传递路径上;以及一第二反射面、一第三反射面及一第四反射面设于所述光束的传递路径上;其中,所述光束的传递路径如下:(1)经由所述第一反射面到达一待测量物体后,再反射穿透所述入射面后,依序传递至所述第二反射面、所述第三反射面及所述第四反射面后,到达一观测面;或(2)所述光束穿透所述入射面到达所述待测量物体后再反射至所述第一反射面,所述第一反射面反射所述光束,并依序传递至所述第二反射面、所述第三反射面及所述第四反射面后,到达所述观测面。
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