[发明专利]上浮量计算装置、涂覆装置以及涂覆方法

摘要

本发明提供一种上浮量计算装置、涂覆装置以及涂覆方法。在使基板从载台上浮地进行搬运并向基板涂覆涂覆液的涂覆装置中，无论基板的种类，都能高精度地求出从载台上浮的上浮量。涂覆装置具有：板厚测定用传感器，检测吸附部件中的吸附基板的下表面的吸附面的铅垂方向位置和基板中的被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置；上浮测定用传感器，检测载台的上表面的铅垂方向位置和搬运至载台的上方的基板的上表面的铅垂方向位置；板厚计算部，基于吸附面的铅垂方向位置以及被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置来计算基板的板厚；上浮量计算部，基于载台的上表面的铅垂方向位置和基板的上表面的铅垂方向位置、计算出的板厚来计算基板的上浮量。

主权项

1.一种上浮量计算装置，在涂覆装置中计算基板从载台上浮的上浮量，在所述涂覆装置中，对一边利用搬运部的吸附部件局部保持下表面一边利用所述搬运部搬运至载台的基板，从下方向施加浮力，使所述基板从所述载台向上方上浮，并且，从喷嘴向上浮状态的所述基板喷出涂覆液进行涂覆，其特征在于，所述上浮量计算装置具有：板厚测定用传感器，检测所述吸附部件中的吸附所述基板的下表面的吸附面的铅垂方向位置、和所述基板中的被所述吸附部件吸附的被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置；上浮测定用传感器，检测所述载台的上表面的铅垂方向位置、和搬运至所述载台的上方的所述基板的上表面的铅垂方向位置；板厚计算部，基于由所述板厚测定用传感器检测出的所述吸附面的铅垂方向位置及所述被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置，来计算所述基板的板厚；以及上浮量计算部，基于由所述上浮测定用传感器检测出的所述载台的上表面的铅垂方向位置以及所述基板的上表面的铅垂方向位置、由所述板厚计算部计算出的所述板厚，来计算所述基板的上浮量。