[发明专利]脉冲强激光诱导光致发光谱的测量装置及测量方法在审
申请号: | 201810089716.1 | 申请日: | 2018-01-30 |
公开(公告)号: | CN108318459A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 胡国行;罗阳;赵元安;曹珍;单尧;王尧;邵建达 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种脉冲强激光诱导光致发光谱的测量装置及测量方法,应用高功率脉冲强激光以一定频率连续辐照光学元件材料内部,待测元件采用正侧面抛光,并在其侧面放置光纤探头和光谱仪以测量其散射信号,有效地减少了表面散射信号对结果的影响。采用时间积分的方式增加散射信号测量值,采用镜面对称相减的数据处理方法滤除瑞利散射信号,由此提取出高信噪比的强激光诱导的光致发光谱。本发明适用于各类透明光学元件的脉冲强激光诱导光致发光谱的在线探测。 | ||
搜索关键词: | 光谱 脉冲强激光 诱导 测量装置 散射信号 测量 强激光 光学元件材料 瑞利散射信号 散射信号测量 透明光学元件 高功率脉冲 有效地减少 光谱仪 待测元件 光纤探头 镜面对称 连续辐照 在线探测 数据处理 正侧面 抛光 高信 滤除 相减 侧面 应用 | ||
【主权项】:
1.一种脉冲强激光诱导光致发光谱的测量装置及测量方法,特征在于其构成包括:由脉冲激光器(1)、衰减控制器(2)、半波片(3)和聚焦透镜(4)组成的脉冲强激光辐照系统;由光纤探头(7)和光谱仪(8)组成的光致发光信号收集系统;沿该脉冲激光器(1)的激光输出方向依次是所述的衰减控制器(2)、半波片(3)、聚焦透镜(4)和供待测光学元件(5)放置的移动平台(6),该移动平台(6)与计算机(9)相连;供待测光学元件(5)放置的移动平台(6)的正侧面依次是所述的光纤探头(7)和光谱仪(8),所述的光谱仪(8)的输出端与计算机(9)的输入端相连。
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