[发明专利]一种制氧机用氧浓度检测传感器在审
申请号: | 201810084966.6 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN108318563A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 李军良;沈杰 | 申请(专利权)人: | 上海艾瓷传感科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/407 | 分类号: | G01N27/407;G01N27/409 |
代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人: | 刘粉宝 |
地址: | 201613 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种制氧机用氧浓度检测传感器,包括透氧层、设置在透氧层下表面的绝缘层、设置在绝缘层下表面的加热器层、设置在透氧层和绝缘层之间的空腔以及设置在透氧层和绝缘层之间的扩散障通道层;透氧层的上方设有外电极和外电极引脚,透氧层的下方设有内电极和内电极引脚,外电极和内电极相对形成泵氧对电极;加热器层内置加热器,加热器具有引线脚;内电极设置在空腔内;扩散障通道层的一端与外部被测气氛相通,另一端与空腔相通。本发明结构简单,采用加热电路内置的方式,缩短传感器的启动时间,陶瓷基的透氧特性、耐高温及耐腐蚀特性综合利用;且氧浓度的检测不受被测气体温度及流量等环境因素的影响。 | ||
搜索关键词: | 透氧层 绝缘层 内电极 外电极 传感器 氧浓度检测 加热器层 扩散障 通道层 下表面 制氧机 空腔 引脚 加热器 内置加热器 被测气体 环境因素 加热电路 空腔相通 对电极 耐腐蚀 耐高温 陶瓷基 氧特性 引线脚 泵氧 内置 相通 检测 外部 | ||
【主权项】:
1.一种制氧机用氧浓度检测传感器,其特征在于,所述传感器包括:一透氧层,透氧层的上表面设有外电极和外电极引脚,透氧层的下表面设有内电极和内电极引脚,外电极和内电极相对形成泵氧对电极;一设置在透氧层下方的绝缘层;一设置在绝缘层下方的加热器层,加热器层内置加热器,加热器具有引线脚;一设置在透氧层和绝缘层之间的空腔,内电极设置在空腔内;一设置在透氧层和绝缘层之间的扩散障通道层,扩散障通道层的一端与外部被测气氛相通,另一端与空腔相通。
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