[发明专利]基于窄边框透明封装的平板探测器及其制备方法在审
申请号: | 201810084226.2 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN110098276A | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 钟良兆;程丙勋 | 申请(专利权)人: | 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/08 | 分类号: | H01L31/08;H01L31/18 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201201 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种基于窄边框透明封装的平板探测器及其制备方法,基于窄边框透明封装的平板探测器包括:基板;闪烁体结构层,包括闪烁体薄膜及透光防水薄膜;闪烁体薄膜位于所述基板表面,透光防水薄膜贴附于闪烁体薄膜表面;光接收器,位于闪烁体结构层上。闪烁体薄膜与光接收器之间的间距较小,可以减小光损失;闪烁薄膜边缘至基板边缘的距离可以减小至微米级别,实现窄边框封装,进而增大闪烁体薄膜的有效面积;透光防水薄膜与闪烁体薄膜可以实现紧密贴合,避免透光防水薄膜与闪烁体薄膜之间残留气体,可以有效防止透光防水薄膜鼓泡及老化;通过在透光防水薄膜表面设置透光疏水层,可以进一步增强防水效果。 | ||
搜索关键词: | 闪烁体薄膜 透光 防水薄膜 窄边框 平板探测器 透明封装 光接收器 结构层 闪烁体 减小 制备 薄膜边缘 表面设置 残留气体 防水效果 基板边缘 基板表面 紧密贴合 微米级别 有效面积 光损失 疏水层 鼓泡 基板 贴附 封装 老化 闪烁 | ||
【主权项】:
1.一种基于窄边框透明封装的平板探测器,其特征在于,所述基于窄边框透明封装的平板探测器包括:基板;闪烁体结构层,包括闪烁体薄膜及透光防水薄膜;其中,所述闪烁体薄膜位于所述基板表面,所述透光防水薄膜贴附于所述闪烁体薄膜表面;光接收器,位于所述闪烁体结构层上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的