[发明专利]一种铁酸锌复合氧化物精脱硫剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201810060877.8 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108219856B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 秦志峰;靳永勇;韩勋;汪佩华;苗茂谦;上官炬 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C10K1/00 | 分类号： | C10K1/00;C10K1/20 |
| 代理公司： | 14109 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 崔雪花;冷锦超 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铁酸锌复合氧化物精脱硫剂及其制备方法，本发明结合了传统常规脱硫剂氧化铁和精脱硫剂氧化锌的优点，利用原子层沉积方法精确定量合成出晶型完整、结晶度高分散均匀的复合氧化物铁酸锌精脱硫剂。以本方法制备出的铁酸锌复合氧化物精脱硫剂具有脱硫精度高、硫容高的优点，是一种工业化潜力十分巨大的精脱硫剂。 | ||
| 搜索关键词： | 精脱硫剂 复合氧化物 铁酸锌 制备 铁酸锌精脱硫剂 原子层沉积 传统常规 高分散 结晶度 脱硫剂 氧化铁 氧化锌 晶型 硫容 脱硫 合成 | ||
【主权项】：
1.一种铁酸锌复合氧化物精脱硫剂制备方法，其特征在于利用原子层沉积仪进行沉积，具体包括以下步骤：/n第一步：将清洗干燥好的石英玻璃片基底放入到ALD反应腔体中，抽真空并通入高纯氩气，将基底预热到一定温度范围；/n第二步：氧化铁的沉积：以二茂铁为前驱体，二茂铁经高纯氩气带入反应腔体，脉冲1-3s的二茂铁→9-11s高纯氩气吹扫→脉冲1-3s的水蒸汽→9-11s高纯氩气吹扫；所述氧化铁的沉积中沉积温度150℃，载气为高纯氩气，前驱体二茂铁经氩气脉冲流速为25mL/min，水蒸气流速为50mL/min；/n第三步：氧化锌的沉积：以二乙基锌为前驱体，二乙基锌经高纯氩气带入反应腔体，脉冲1-3s的二乙基锌→9-11s高纯氩气吹扫→脉冲1-3s的水蒸汽→9-11s高纯氩气吹扫；所述氧化锌的沉积中沉积温度150℃，载气为高纯氩气，前驱体二乙基锌经氩气脉冲流速为15mL/min，水蒸气流速为20mL/min；/n第四步：交替重复上述氧化铁的沉积和氧化锌的沉积过程80-100次；/n第五步：待沉积腔体自然冷却至温度低于60℃，将样品取出，从石英玻璃片基底刮下沉积层，在500-600℃下恒温60-90min，即制得脱硫剂。/n
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