[发明专利]用于形成石墨烯膜结构元件的方法和石墨烯膜结构元件有效
| 申请号： | 201810050293.2 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108511601B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | G·鲁尔;M·柯尼希 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/06 | 分类号： | H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张鹏 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于形成石墨烯膜结构元件的方法(100)，包括：将石墨烯膜在石墨烯膜的松弛状态中布置(110)在载体衬底的表面上。石墨烯膜延伸跨过具有在载体衬底的表面处的开口的凹槽。此外所述石墨烯膜被布置成石墨烯膜的第一部分被布置在载体衬底的表面处，并且石墨烯膜的第二部分被布置在凹槽的开口之上。此外所述方法(100)包括张紧(120)石墨烯膜的第二部分，以便将石墨烯膜的第二部分转变到张紧状态，从而石墨烯膜的第二部分在石墨烯膜结构元件的工作温度范围中持续地处于张紧状态。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 石墨 膜结构 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成石墨烯膜结构元件(200、300、400、500、600)的方法(100)，包括：将石墨烯膜(220)在所述石墨烯膜(220)的松弛状态中布置(110)在载体衬底(210)的表面(214)上，其中所述载体衬底(210)包括粘附层(213)和主体区域(211)，其中所述石墨烯膜(220)延伸跨过凹槽(212)，所述凹槽在所述载体衬底(210)的表面(214)处具有开口(216)，并且其中所述石墨烯膜(220)被布置成所述石墨烯膜(220)的第一部分(221)被布置在所述载体衬底(210)的表面(214)处，并且所述石墨烯膜(220)的第二部分(222)被布置在所述凹槽(212)的所述开口(216)之上，其中在所述粘附层(213)和所述石墨烯膜(220)之间的附着能大于在所述主体区域(211)和所述石墨烯膜(220)之间的附着能；并且张紧(120)所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)，以便将所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)转变到张紧状态，从而所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)在所述石墨烯膜结构元件(200、300、400、500、600)的工作温度范围中持续地处于所述张紧状态，其中所述张紧是通过固有的粘附通过将所述石墨烯膜的第三部分吸引到所述凹槽的壁部的由所述粘附层形成的一部分处进行的。
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