[发明专利]一种高性能类金刚石复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201810047101.2 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108531905A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李灿民;陶满;李亚军;张胜利 | 申请（专利权）人： | 合肥永信信息产业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06;C23C16/26;C23C16/515;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥兴东知识产权代理有限公司 34148 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能类金刚石复合涂层，其特征在于，所述涂层由内至外依次包括Cr打底层、CrN过渡层和DLC表层；或Ti打底层、TiN过渡层和DLC表层。本发明制备工艺在中、低温下进行，实现在相同结合力等级前提下以金属打底和过渡层的方式取代等离子渗氮工序，使用Cr、Ti等金属元素打底可以实现DLC快速褪镀；在制备DLC过程中，使用等离子增强装置可以使C2H2的离化率由原有的10％提升至30％，离化率的提高使膜层更加致密，同时有助于结合力的提高，该方法制备的DLC可以使整个涂层结合力提高1‑2个等级，膜层的干摩擦系数由0.3‑0.6降低至0.05‑0.1，同工况测试在摩擦阻力显著降低的情况下膜层使用寿命提高2‑3倍。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡层 制备 类金刚石复合涂层 打底层 结合力 离化 膜层 致密 发明制备工艺 等离子渗氮 等离子增强 涂层结合力 金属元素 摩擦系数 摩擦阻力 使用寿命 下膜层 原有的 金属 测试 | ||
【主权项】：
1.一种高性能类金刚石复合涂层，其特征在于，所述涂层由内至外依次包括Cr打底层、CrN过渡层和DLC表层；或Ti打底层、TiN过渡层和DLC表层。
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