[发明专利]一种沉浸式制备钙钛矿薄膜的设备及使用方法和应用

摘要

本发明涉及一种沉浸式制备钙钛矿薄膜的设备，包括一密封腔室，在密封腔室内至少设置有一组半封闭反应器装置，半封闭反应器装置包括下加热升华装置和上加热台，在下加热升华装置的顶部设置有器皿，在器皿内盛载有反应物前体，在器皿的正上方设置有基片架，基片架遮罩在器皿的开口上，在器皿的侧面设置有基片架支撑平台，基片架设置在基片架支撑平台上，在基片架的下底面设置有待沉积的基片，基片上的待沉积面正朝向器皿中的反应物前体，上加热台设置在基片架上给基片加热。本发明还公开了使用该沉浸式制备钙钛矿薄膜的设备制备钙钛矿太阳能电池的方法。本发明可在制备过程中控制薄膜的晶体生长，提高成膜质量及均匀性和重复性。

主权项

1.一种沉浸式制备钙钛矿薄膜的设备，包括一密封腔室，其特征在于，在所述密封腔室内至少设置有一组半封闭反应器装置，所述半封闭反应器装置包括下加热升华装置和上加热台，在所述下加热升华装置的顶部设置有开口朝上的器皿，在所述器皿内盛载有反应物前体，在所述器皿的正上方设置有基片架，所述基片架遮罩在器皿的开口上，在所述器皿的侧面设置有基片架支撑平台，所述基片架设置在基片架支撑平台上，在所述基片架的下底面设置有待沉积的基片，所述基片位于器皿的正上方，其上的待沉积面正朝向器皿中的反应物前体，所述上加热台设置在基片架上以加热基片，所述反应物前体被蒸发沉积到基片表面；控制密封腔室内的气压，控制上加热台和下加热升华装置的加热温度。