[发明专利]一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置在审
| 申请号： | 201810019624.6 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108004520A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 崔岸;孙文龙;刘芳芳;张睿;程普;郝裕兴;陈宠 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，包括：装载区、镀膜区和卸载区；所述装载区、所述镀膜区和所述卸载区均设置在真空腔内；所述装载区和所述卸载区关于所述镀膜区对称设置；在镀膜区采用多个磁控溅射阴极结构，并布置多个真空激光测距仪，与多个溅射阴极相对应，通过真空激光测距仪测出镀膜表面与磁控溅射阴极的距离反馈给溅射阴极，控制溅射功率，从而控制不同位置溅射离子的量，以保证一次镀膜就可以达到膜厚均匀性要求。本发明提供了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，不仅简化了真空镀膜设备，同时能够自动调节磁控溅射功率，保证带有曲率的玻璃表面镀膜厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 汽车 窗玻璃 真空 连续 磁控溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括：装载区(1)、镀膜区(2)和卸载区(3)；所述装载区(1)、所述镀膜区(2)和所述卸载区(3)均设置在真空腔内；所述装载区(1)和所述卸载区(3)通过所述镀膜区(2)的连接位于同一真空腔内。
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