[发明专利]立式周向循环连续式气相沉积设备在审
| 申请号： | 201810018496.3 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108277471A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;王向红;刘伟 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C16/54 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种立式周向循环连续式气相沉积设备，包括主腔室、进料腔室及进料口开合系统、工艺腔室及气相沉积组件、转架系统、腔室升降系统、真空系统及真空管道，真空系统将主腔室、进料腔室及工艺腔室通过各自独立的真空管道进行真空处理，进料腔室及工艺腔室通过气动升降机构驱动进料腔室及工艺腔室升降，将进料腔室及工艺腔室在与主腔室联通的状态及独立真空腔室的状态之间切换，气相沉积组件侧向安装于各工艺腔室，并通过可收缩的波纹管道连接于真空室外，实现不同的镀膜功能。转架系统包括转盘、双转盘转动机构、转盘转动机构驱动转盘公转或定点自转，将工件在进料腔室及工艺腔室之间传递及定点镀膜，实现周向快速连续式真空镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺腔室 进料腔室 主腔室 气相沉积设备 气相沉积 真空管道 真空系统 周向循环 连续式 镀膜 腔室 转架 连续式真空镀膜 气动升降机构 转盘转动机构 波纹管道 侧向安装 独立真空 开合系统 驱动转盘 升降系统 真空处理 转动机构 进料口 可收缩 双转盘 自转 联通 转盘 升降 室外 驱动 传递 | ||
【主权项】：
1.一种立式周向循环连续式气相沉积设备，其特征在于：包括主腔室、进料腔室及进料口开合系统、工艺腔室及气相沉积组件、可定点自转的转架系统、真空系统及真空管道，真空系统将主腔室、进料腔室及工艺腔室通过各自独立的真空管道进行真空处理，进料腔室及工艺腔室的真空管道通过波纹管连接于主腔室及真空系统，进料腔室及工艺腔室通过气动升降机构驱动进料腔室及工艺腔室升降，将进料腔室及工艺腔室在与主腔室联通的状态及独立真空腔室的状态之间切换，气相沉积组件侧向安装于各工艺腔室，并通过可收缩的波纹管道连接于真空室外。
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