[发明专利]可移动掩蔽元件在审
| 申请号： | 201780092451.4 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110785512A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·林登贝格;于尔根·格里尔迈尔;岭·灿;约翰·M·怀特;马库斯·哈尼卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54;C23C16/04 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种沉积设备。沉积设备包括第一沉积源和第二沉积源，经构造为用于在基板接收面积中沉积材料。沉积设备包括掩蔽元件。掩蔽元件经构造为用于掩蔽在第一方向上延伸的基板边缘区域。掩蔽元件经构造以在至少第一方向上移动以补偿沉积材料在掩蔽元件上的积累。 | ||
| 搜索关键词： | 掩蔽元件 沉积设备 沉积材料 沉积源 掩蔽 基板边缘区域 基板接收 上移动 延伸 积累 | ||
【主权项】：
1.一种沉积设备(100)，包含：/n第一沉积源(110)和第二沉积源(120)，经构造为用于在基板接收面积中沉积材料；以及/n掩蔽元件(150)，/n其中所述掩蔽元件经构造为用于掩蔽在第一方向(102)上延伸的基板边缘区域(162)，并且/n其中所述掩蔽元件经构造以在至少所述第一方向上移动以补偿沉积材料在所述掩蔽元件上的积累。/n
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